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기술 및 견적 문의

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작성자 박승현 작성일22-10-06 11:04 조회266회 댓글0건

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Full Name 박승현
Nationality 기술 및 견적 문의
Contact Number 원익아이피에스
E-mail Wafer X310 / FEP ME 536
Expected Tour Date from parksh11@wonik.com to
Number of Adults 010-8393-1841
Number of Children
Requested cities
Name of the Hotel or Accommodation
Airport Pick up Request?
Airport Drop off Request?
Special Request (food, Wheel chair, Baby car seat etc.) 안녕하십니까, 원익아이피에스 안전G 박승현 입니다. 아래와 같이 문의드리오니 회신 부탁드립니다.
[배경]
당사는 반도체 제조장비 업체로써, 방사선(엑스선, 5천 전자볼트 이상) 장비 2대를 보유 중입니다.(방사선안전관리자 신고 완료)
[x-ray 검색기 150kv 0.5mA / Wafer 분석 장비 60kv 150mA] → 공단 문의 후 전리방사선에 대한 특수건강검진은 실시 예정

[문의]
원자력법에 시행령에 따르면, 연간 노출기준이 나와 있습니다.
저희가 보유하고 있는 장비도 유효선량한도, 등가선량한도에 대하여 측정을 진행해야 하는지
측정을 진행해야 한다면, 어떠한 방법으로 측정을 진행해야하는지 문의 드립니다.

아래는 안전보건공단에 질의하여 받은 답변 입니다. 참고 부탁드립니다.

[ 참고사항 : x-ray 검색기 150kv 0.5mA / Wafer 분석 장비 60kv 150mA ]
→ 전자볼트는 기본전하량을 가진 임의의 하전입자가 1V의 전위차가 있는 곳을 저항없이 통과할때 얻는 에너지를 의미하며, 제품사양서에 명시된 관전압은 X선관의 양극과 음극 사이에 적용되는 전압을 의미합니다. 일반적으로 전자에너지는 관전압에 비례하며 E=h·υ=h·C/λ 의 공식으로 계산됩니다.(h : 플랑크상수, υ : 주파수, C : 빛의 속도, λ : 파장)
여기서, 파장(λ)이 가장 짧을 때 최대 전자에너지가 방출되며, λmin은 Duane-Hunt 법칙에 따라, 12.4×10-10/최대관전압(KVp) 으로 계산됩니다. 예를 들어 제품에 명시된 최대관전압이 60kV의 경우, λmin=12.4×10-10/60=0.2067×10-10(m) 이고 최대 전자에너지는 4.13×10-18×3×108/(0.2067×10-10)=59.942KeV(59,942eV)으로 계산됩니다. 다만, 상기 답변은 공식에 의한 이론적인 사항으로, 제조사 측에 문의하여 정확한 사양을 확인하시기 바랍니다.

감사합니다.

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